Plasma in general 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
2021.02.16 15:54
안녕하세요.
국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.
궁금한 점은
DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.
압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.
이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75755 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19439 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56665 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68003 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90232 |
| 596 | RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] | 2832 |
| 595 |
구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다.
[1]  | 213 |
| 594 | CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] | 2168 |
| 593 | low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] | 1254 |
| 592 | 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] | 2091 |
| 591 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 2913 |
| 590 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 780 |
| 589 | 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] | 1814 |
| 588 | RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] | 3097 |
| 587 | 플라즈마 챔버 [2] | 1083 |
| 586 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 975 |
| 585 | 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] | 3231 |
| 584 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 714 |
| 583 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1603 |
| 582 | ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] | 1100 |
| 581 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 758 |
| 580 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1006 |
| 579 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 375 |
| » | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 27754 |