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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral]
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ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation]
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플라즈마 사이즈 측정 방법 [플라즈마 분포 측정 및 산포 평가]
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PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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Druyvesteyn Distribution
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C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [Sheath energy]
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Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해]
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플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응]
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Microwave & RF Plasma [플라즈마 주파수와 rate constant]
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RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [RF Power]
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챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [에너지 균형과 입자 균형식]
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DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [상압플라즈마 소스]
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플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [Bactericidal 이해]
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플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해]
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standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해]
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Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath]
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RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택]
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안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응]
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안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift]
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