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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전]
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RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield]
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plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장]
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Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전]
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RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
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Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance]
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254 |
Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭]
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Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터]
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플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마]
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251 |
corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마]
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플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포]
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plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학]
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248 |
E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포]
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247 |
self bias [쉬스와 표면 전위]
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Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위]
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실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [대기압 플라즈마, highly collisional plasma]
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RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating]
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plasma modeling 관련 질문 [Balance equation]
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플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
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플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
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