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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67562
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89369
245 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15827
244 Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] 15723
243 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 21124
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240 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17457
239 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21096
238 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24629
237 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22574
236 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19771
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20236
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31393
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 23603
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23218
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22854
230 대기압 플라즈마 40369
229 반도체 관련 질문입니다. 28537

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