번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [320] 85739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22614
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59310
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71050
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98094
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 543
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 1163
746 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1211
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응] [1] 662
744 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 440
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 441
742 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 651
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선] [1] file 548
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 738
739 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating] [1] 1015
738 remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화] [1] 901
737 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 650
736 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 440
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 494
734 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 876
733 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 435
732 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 509
731 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 704
730 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 840
729 Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마] [1] 1028

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