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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69647
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744 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 22920
743 [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 22777
742 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22707
741 Peak RF Voltage의 의미 22707
740 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 22693
739 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22642
738 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22630
737 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22499
736 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22348
735 플라즈마의 발생과 ICP 22241
734 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22155
733 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22065
732 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22020
731 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22013
730 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21834
729 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 21765
728 ccp-icp 21704
727 manetically enhanced plasmas 21694
726 F/S (Faraday Shield) file 21670
725 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 21597

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