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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71050
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98094
728 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산] [1] 542
727 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance] [1] 742
726 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 446
725 반도체 METAL ETCH시 CH4 GAS의 역할 [플라즈마 식각기술] [1] 1002
724 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 945
723 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 523
722 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [환경 플라즈마] [1] file 284
721 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 250
720 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [공정 조절과 CF4 계열 플라즈마] [1] 554
719 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 346
718 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 832
717 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1238
716 Ashing 공정에 필요한 O2plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [전자 충돌 이온화 반응 해리 반응 흡착 반응] [1] 2221
715 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 501
714 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 724
713 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 505
712 corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 252
711 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 343
710 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 929
709 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 635

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