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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68028
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597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1577
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 2841
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 214
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2170
593 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1255
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2094
591 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2916
590 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 783
589 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1816
588 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3115
587 플라즈마 챔버 [2] 1084
586 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 977
585 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3238
584 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 714
583 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1604
582 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1102
581 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 763
580 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1006
579 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 375
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