Others Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파]

2024.06.13 15:23

민수킴 조회 수:228

안녕하세요

 

2.45[GHz]를 사용하는 마이크로웨이브 플라즈마에서

Electric field가 chamber 내부로 투과하는것이 아닌 유전체와 플라즈마 경계에 Surface wave mode로 형성되는 조건이 궁금해서 문의드립니다.

 

일반적으로 2.45[GHz]에서 cut-off density가 7.4x10^11[1/m^3] 로 알고있는데 이 cut-off density 이상의 플라즈마 밀도가 형성되면 surface wave mode로 작동하는 것이 맞을까요?

 

항상 홈페이지에서 많이 배우고 있습니다.

 

교수님의 고견을 여쭙습니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [326] 97307
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23694
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60393
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72245
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 102522
172 RF BIAS REDLECT POWER HUNTING 문제 [1] 99
171 동일한 RF방전챔버에서 화학종별 이온화율에 대한 질문 [1] 159
» Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 228
169 CCP 장비 하부 전극 dc 펄스 전력 [1] 239
168 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 274
167 반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가] [2] 330
166 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 333
165 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 347
164 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 368
163 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 372
162 ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해] [1] 395
161 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 397
160 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 410
159 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 411
158 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 426
157 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 482
156 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 496
155 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 503
154 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정] [2] file 519
153 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 530
쓰기
태그

Boards

XE Login