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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19419
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56648
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67966
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 90148
677 RF Sputtering Target Issue [2] file 466
676 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 473
675 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 473
674 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 474
673 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 474
672 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 485
671 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 489
670 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 494
669 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 501
668 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 506
667 핵융합 질문 [1] 509
666 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 516
665 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 520
664 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 520
663 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 521
662 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 526
661 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 527
660 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 527
659 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 534
658 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 538
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