Matcher RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정]

2016.09.23 01:10

삥땅 조회 수:9017

안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고있는 직장인입니다.

etch 장비에서 초기 reflect power 안정화를 위해 shunt / series 값을 tuning 하여 어느정도 개선은 하였는데

전환되는 step 에서는 reflect power 를 빠르게 안정시킬 수 있는 방법이 궁굼합니다.

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