Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.
2011.01.03 12:29
이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.
Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다
tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.
솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여
맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만
이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [234] | 75761 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19446 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56668 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68016 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90274 |
| 753 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 143646 |
| 752 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134366 |
| 751 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 94822 |
| 750 | Plasma source type | 79109 |
| 749 | Silent Discharge | 64526 |
| 748 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54291 |
| » | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47498 |
| 746 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43617 |
| 745 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
 | 41012 |
| 744 | 대기압 플라즈마 | 40451 |
| 743 | RF frequency와 RF power 구분 | 38975 |
| 742 | Ground에 대하여 | 38969 |
| 741 | Self Bias | 36315 |
| 740 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35536 |
| 739 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34822 |
| 738 | PEALD관련 질문 [1] | 32176 |