Others 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어]

2010.04.16 19:26

최영익 조회 수:20158 추천:151

안녕하세요. 플라즈마를 공부하는 최영익이라고 합니다.

plasma device들 중에 석영을 주로 쓰는 경우가 있는데 특별한 이유가있는지요?

플라즈마 발생장치 중에 석영관 사이에서 방전을 한다거나

안테나가 석영관 뒤에 있는 경우가 있는데

석영이 선택되는 특별한 이유가 있는지요?

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79338
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21289
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58090
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69647
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94477
704 Lissajous figure에 대하여.. 20685
703 Three body collision process 20682
702 확산펌프 [DP 변수 검토] 20570
701 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20526
700 RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 20485
699 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [플라즈마 확산 및 전력정합 영역 제어] [1] file 20477
698 Langmuir probe tip 재료 20458
697 플라즈마 matching [Heating mechanism, matching] 20385
696 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20377
695 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [Electric field와 breakdown] [1] 20361
694 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20325
693 형광등과 플라즈마 20298
692 DBD 플라즈마와 플라즈마 impedance [DBD plasma, Matching] 20285
691 플라즈마 진동수와 전자온도 20165
» 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20158
689 CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 20069
688 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [Plasma 대면재료와 공정법] [1] 19897
687 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 19859
686 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19825
685 cross section 질문 [Cross section에서의 collision] [1] 19801
쓰기
태그

Boards

XE Login