ESC SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리]

2018.08.01 11:16

장영구 조회 수:2775

안녕하세요. 반도체회사에 다니고 있습니다.

Plasma와 연관성이 없을 수 있는 질문인데요..

Si Wafer가 ESC Chucking  Voltage의 Damage(??)에 의해 Edge Broken이 발생할 수 있는지 궁금합니다. (2500v)

ESC를 사용하다가 1년 이상되면 Broken이 발생하고, Broken 주기는 점점 빨라집니다.

ESC의 오랜 사용에 의한 노화 현상은 맞는거 같은데 어떤 영향성으로 발생하는지 궁금해서요...(ESC 교체시 정상되네요)

Plasma On/Off와는 연관성이 없었습니다.

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [318] 83186
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22058
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58821
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70478
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96564
26 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 184
25 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 310
24 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [국부 방전과 chucking] [1] 304
23 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 781
22 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1141
21 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 909
20 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [ESC 영역 온도 조절] [1] 2489
19 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 15211
18 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1586
17 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [ESC, 쉬스 전기장 및 bias 전력 조절] [1] 5843
16 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [웨이퍼 근방 쉬스 특성, Edge ring] [2] 3003
15 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1745
14 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [표면 하전 특성 및 chucking 불안정성] [1] 3905
13 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3740
» SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 2775
11 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4515
10 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [Wafer bias와 chuck cap] [1] 1978
9 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 10254
8 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17049
7 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 7825
쓰기
태그

Boards

XE Login