|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[316]
| 82455 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 21933 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 58717 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 70344 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 96201 |
|
744 |
RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability]
[1] | 414 |
|
743 |
RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise]
[1] | 397 |
|
742 |
안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift]
[1]  | 620 |
|
741 |
CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
[1] | 507 |
|
740 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별]
[1] | 684 |
|
739 |
주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating]
[1] | 932 |
|
738 |
remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화]
[1] | 844 |
|
737 |
ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전]
[1] | 603 |
|
736 |
RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield]
[1] | 412 |
|
735 |
plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장]
[1] | 461 |
|
734 |
Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전]
[1] | 792 |
|
733 |
RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
[1] | 394 |
|
732 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
[2] | 461 |
|
731 |
GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
[1] | 585 |
|
730 |
N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마]
[1] | 777 |
|
729 |
Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마]
[1] | 851 |
|
728 |
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의 드립니다. [플라즈마 분포와 확산]
[1] | 481 |
|
727 |
Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [Sheath impedance]
[1] | 678 |
|
726 |
chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성]
[1] | 428 |
|
725 |
반도체 METAL ETCH시 CH4 GAS의 역할 [플라즈마 식각기술]
[1] | 905 |
