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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다.
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ICP 플라즈마에 관해서
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RF에 대하여...
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PEALD관련 질문 [Passivation 막 증착 과정]
[1] | 32737 |
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15 |
ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process]
[2] | 35070 |
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14 |
Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) [Matching Q factor와 negative ion]
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13 |
Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자]
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RF frequency와 RF power 구분
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Ground에 대하여
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10 |
대기압 플라즈마
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9 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
 | 41412 |
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8 |
플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential]
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7 |
안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type]
[1] | 48215 |
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VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리]
[1] | 55290 |
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5 |
Silent Discharge
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Plasma source type [CCP, ICP, TCP]
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