Others QMA에 관하여

2004.06.19 16:02

관리자 조회 수:19450 추천:307

저는 지금 플라즈마 진단을 위하여 QMA를 사용하고 있습니다.
RGA mode와 Ion mode가 있는데.. 차이점을 알고 싶습니다.
제가 사용하는 system은 electron beam의 에너지를 control이 가능한데..

1. RGA mode에서 electron beam의 에너지를 0eV로 한 경우와
    Ion mode의 차이점을 알고 싶습니다.

2. Plasma를 여기시킨 상태에서 RGA mode를 사용하는 경우(위의
  질문과 연관이 되는 것 같은데.. )
  QMA의 gas input단에서 이온을 QMA내로 들어오지 못하게 하는
  기능이 있는지 알고 싶습니다. ^^

수고하싶시오.. ^^

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77935
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20790
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57705
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69208
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93566
816 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [1] 23
815 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [삼각함수의 위상각] [1] 33
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 34
813 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 35
812 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 51
811 ICP에서 biasing 질문 [RF sheath와 self bias] [1] 52
810 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 60
809 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 68
808 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 76
807 플라즈마 식각 커스핑 식각량 77
806 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [식각 플라즈마의 가장자리 균일도 제어] [1] 77
805 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [DBD 방전과 DC breakdown] [1] 83
804 Druyvesteyn Distribution 86
803 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [열전달 방정식 이해] [1] 88
802 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [유전체 상태 모니터링] [1] 92
801 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 102
800 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [부착물의 흡착 관리] [1] 106
799 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 110
798 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [RF 전원과 매칭] [1] 115
797 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 125

Boards


XE Login