Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?
2004.06.21 15:43
질문 ::
플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
답변 ::
플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75788 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19473 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56680 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68068 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90361 |
98 |
Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network)
![]() | 35549 |
97 |
self Bias voltage
![]() | 23815 |
96 |
manetically enhanced plasmas
![]() | 21630 |
95 |
Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요?
![]() | 17982 |
94 |
주변의 플라즈마에 대하여
![]() | 18639 |
» |
플라즈마진단법엔 어떤것이?
![]() | 18686 |
92 |
최적의 펌프는?
![]() | 18507 |
91 |
plasma cleanning에 관하여....
![]() | 20787 |
90 |
ICP 식각에 대하여...
![]() | 16853 |
89 |
plasma와 arc의 차이는?
![]() | 24236 |
88 |
플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항
![]() | 27481 |
87 |
상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다.
![]() | 19710 |
86 |
우주 플라즈마
![]() | 15323 |
85 |
laser induced plasma의 측정에 관하여
![]() | 14708 |
84 |
ICP TORCH의 냉각방법
![]() | 15892 |
83 |
등온플라즈마와 비등온플라즈마
![]() | 18743 |
82 |
RF에 대하여,,
![]() | 16971 |
81 |
냉각수에 의한 Power Leak
![]() | 14426 |
80 |
AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상...
![]() | 19303 |
79 |
불꽃이 쫒아오는 이유
![]() | 17607 |