Deposition 플라즈마 코팅에 관하여

2004.06.25 16:45

관리자 조회 수:21945 추천:303

질문 ::

저는 직장에 다니는 회사원입니다. 얼마전 선배로 부터 플라즈마 코팅이라는 것을 문의 받았는데, 정확한 답변을 할 수가 없었습니다. 플라즈마 코팅의 원리와 국내 전문가를 소개시켜 주실 수 있는지요?

답변 ::

플라즈마를 이용한 코팅을 한마디로 설명하기는 어렵지만 간단히 생각해 보면 화학물이 시편 표면을 덮는데 플라즈마 환경을 이용한다고 생각할 수 있습니다. 플라즈마는 화학물의 활성에너지를 제공하거나 화학물이 시편 표면과 잘 반응하도록 합니다. 특히 플라즈마 내의 전자에 의해서 기체 상태의 화학물들은 해리되어 래디컬을 형성하여 시편 표면과 활발하게 반응하여 표면에 정착하게 됩니다. 이들 화학물은 시편 표면에 작은 섬을 만들고 그 섬 주변으로 점차 커지는데 이런 섬들이 많아지면 옆의 섬과 연결되면서 시편 전체를 덮게 됩니다. 따라서 시편과 코팅 목적에 알맞는 화학물을 선택하는 것이 매우 중요하며 플라즈마를 이용하고자 한다면 화학물을 기체상태 속에 넣을 수 있어야 합니다. 이렇게 플라즈마의 도움을 받아 표면에 화학물을 코팅하는 기술을 PECVD 혹은 PACVD라고 합니다. 이에 관한 연구는 대단히 활발함으로 주변의 대학 재료공학과에서 전문가를 쉽게 찾으실 수 있을 것 입니다. 혹은 본 란에 답글을 자주 올려주시는 군산대학의 주정훈 교수님이나 울산대학의 천희곤교수님을 찾아 원하시는 코팅에 대한 자문을 받아 보시는 편이 좋을 것 같습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5606
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16894
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51348
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64212
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84200
691 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 45
690 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 46
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 53
688 ESC DC 전극 Damping 저항 70
687 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 118
686 RF Sputtering Target Issue [1] file 118
685 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 127
684 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 127
683 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 136
682 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 146
681 Polymer Temp Etch [1] 147
680 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 150
679 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 150
678 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 152
677 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 165
676 plasma striation 관련 문의 [1] file 168
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 192
674 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 194
673 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 196
672 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 203

Boards


XE Login