Langmuir Probe 플라즈마 측정기

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21329 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 12
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 30
781 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 35
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 39
779 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 50
778 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 55
777 Microwave & RF Plasma [1] 64
776 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 70
775 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 75
774 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 82
773 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 93
772 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 101
771 ICP에서 전자의 가속 [1] 104
770 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 113
769 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 118
768 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
767 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 129
766 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 135
765 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 141
764 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 154

Boards


XE Login