Sputtering 몇가지 질문있습니다
2009.11.10 20:51
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73057 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17636 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55519 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65711 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86069 |
| 207 |
전자파 누설에 관해서 질문드립니다.
[1]  | 20942 |
| 206 | N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] | 23387 |
| 205 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19109 |
| 204 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21189 |
| 203 | H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] | 24327 |
| 202 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 25455 |
| » | 몇가지 질문있습니다 | 16539 |
| 200 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21633 |
| 199 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17485 |
| 198 | matching box에 관한 질문 [1] | 29362 |
| 197 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 17911 |
| 196 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19279 |
| 195 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19246 |
| 194 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22380 |
| 193 | 플라즈마 측정기 [1] | 21224 |
| 192 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 21961 |
| 191 | Arcing [1] | 27710 |
| 190 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24596 |
| 189 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 17931 |
| 188 | 궁금해서요 | 16288 |