Sputtering 몇가지 질문있습니다

2009.11.10 20:51

정세훈 조회 수:16577 추천:139

안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76628
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20133
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57142
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68657
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92057
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] file 21107
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23752
205 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19190
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21327
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24640
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26165
» 몇가지 질문있습니다 16577
200 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21887
199 Plasma Gas의 차이점 [1] 17965
198 matching box에 관한 질문 [1] 29657
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18002
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19353
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19534
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22538
193 플라즈마 측정기 [1] 21329
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22235
191 Arcing [1] 28637
190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24769
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18729
188 궁금해서요 16315

Boards


XE Login