ATM Plasma 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
2014.06.20 14:08
안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.
최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.
플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.
특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.
그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.
플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76713 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20170 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68695 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92270 |
784 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 144455 |
783 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134444 |
782 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95623 |
781 | Plasma source type | 79650 |
780 | Silent Discharge | 64557 |
779 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54887 |
778 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47822 |
777 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43694 |
776 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41236 |
775 | 대기압 플라즈마 | 40706 |
774 | Ground에 대하여 | 39399 |
773 | RF frequency와 RF power 구분 | 39063 |
772 | Self Bias | 36382 |
771 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35902 |
770 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34955 |
769 | PEALD관련 질문 [1] | 32612 |
대기압 소스 방식에 대해서 잘 리뷰가 되어 있는 교재로는
J. Reece Roth 의 Industrial Plasma Engineering (Vol 1 and 2), Institute of Physic Publishing 을 추천합니다.