안녕하세요 교수님.

Display 회사에서 근무중인 김민철입니다.

제가 질문드리고자 하는 내용은 a-Si표면에 N2 Blowing Ionizer 사용 시 어떤 반응이 생기는지에 대해 궁금증이 있어 문의드립니다.

Display 공정 중 Excimer laser annealing 전에 Ionizer를 진행 하는데 이때 정전기 제거가 아닌 다른 영향을 줄 수 있는가에 대해 연구중입니다.

아래 다른 게시글을 참조해보니 N2 Ionizer 사용 시  N2가 분해되어 (+)이온이된다고 하셨는데 이러한 이온이나  N, O, electron 등이  a-Si 표면에 있는 Si의 dangling bond와 결합을 할수있는 지가 궁금 합니다.

이를 통해 후공정으로 진행하는 Excimer laser annealing을 진행할 때, Si의 결정화에 영향을 미칠지가 궁금합니다.

만약 영향을 줄 수 있다면 Si의 어떤 결합이 생기고 반도체의 성질에 어떤 영향이 있을지요 (ex) 불순물로 인한 Doping 장벽 역활 등등...

논문이나 자료를 찾기위해 플라즈마와 관련하여 검색중에 교수님 이름이 많아 조언 부탁드리게 되었습니다.

바쁘실테지만 상기 내용에 대해서 조언 부탁드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
303 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4244
302 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1205
301 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1831
300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3764
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3146
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9841
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8570
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1322
» N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1793
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2226
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1391
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2880
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9654
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2164
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1947
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2675
286 자료 요청드립니다. [1] 6202
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16900
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3163

Boards


XE Login