안녕하세요~

Plasma로 Wafer에 위에 감광액의 Ashing하는 설비를 담당하는 구태영이라고 합니다.

현 장비는 M/W,RF와 O2,N2를 사용하여  Plasma를 생성하고 있습니다.

진공챔버 내에 Plasma 발생시 Wafer 주위에 분홍빛이 나며, 그 위에는 백색빛이 나면서 Plasma가 형성됩니다.

분홍빛은 Bias에 의한 Plasma 밀도랑 관련있다고 알고 있습니다.

여기서 제가 궁금한점 문의드리겠습니다.

1) 분홍빛이 띄는 곳이 Plama의 밀집 되어 있는 부분이 맞는가요?

2) 분홍빛과 백색빛의 차이를 알고 싶습니다.

3) Plasma에 의하여 Wafer에 Damage를 발생할 수 있는 부분을 알고 싶습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4913
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16249
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63759
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83573
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2970
» M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2560
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9533
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7008
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1169
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1432
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2046
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1288
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2308
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9291
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1962
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1730
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2368
286 자료 요청드립니다. [1] 6019
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16283
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3046
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 5931
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1306
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3413
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5298

Boards


XE Login