안녕하십니까, 서울대학교 황농문 교수님 연구실 석사과정 김수종입니다.

제가 하고 싶은 것을 대략적으로 설명드리면, nano-size dust들의 크기를 조절에서 박막 증착의 물성을 확인하려고 하는데, 이 nano particle을 어떤 방식으로 조절할까 고민하던 중 흥미있는 논문을 읽게 되었습니다.

제가 논문을 이해한바로는, DC probe와 Current probe와 같은 간단한 장비를 이용해서, third Harmonics와 fundamental amplitude를 읽어들여서, nano particle의 nucleation, accumulation, coagulation, 세 단계를 실시간으로 잡아낼 수가 있다고 합니다.  이를 이용해서 nano particle 의 size를 조절할 수 있다는, 제가 꼭 필요한 부분에 관한 내용입니다.

사실, ICP 장비를 다루고는 있지만, 플라즈마 및 장비에 대해서 지식이 부족해서 장비 업체에 연락을 먼저 해 봤지만 잘 모르겠다고 답변을 받았고, 저희 연구실과 같이 공동 연구를 하는 쪽에도 여쭤봤지만 확답은 잘 못 받았습니다.

이미 그 논문을 쓴 해당 연구실에 관련한 궁금증에 대해서 질문을 메일로 보냈습니다.

하지만, 혹시 여기에서도 좋은 조언을 얻을 수 있을까 하는 희망을 가지고 질문 올립니다.


혹시 필요하실까봐, 제가 읽은 짧은 논문 하나와, 그 연구실에서 나온 것으로 생각된 document를 보내드립니다.

Document에서 제가 관심 있어하는 부분은 50쪽 Figure II.1과 59쪽 II.3.b Vdc and 3H probes에 관한 내용입니다.

참고할 만한 작은 조언이라도 부탁드립니다.


010-4188-1840

aprilbest@snu.ac.kr



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92264
328 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 961
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6243
326 핵융합 질문 [1] 567
» Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 636
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1961
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7649
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1271
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1407
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5265
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 5991
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8126
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6068
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2492
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3895
314 Ar plasma power/time [1] 1436
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4008
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17439
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1387
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7223
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1950

Boards


XE Login