안녕하세요.


우선 이런 홈페이지가 있는 줄은 몰랐습니다. 많은 글들이 올라와 있고 질문과 답변이 활발한 것 같습니다. 앞으로 많은 참고가 될 홈페이지인 것 같습니다. 이런 홈페이지를 만들고 관리하고 계셔서 감사드립니다.


저는 광주과학기술원의 물리 광과학과에서 공부하고 있는 박사과정생 장동규 라고 합니다. 저희 연구실에서 최근 13.56 MHz RF power 에서 작동하는 Solenoid 형 ICP (Inductively Coupled Plasma) 를 만들어서 연구를 수행하고 있습니다. 최근에 ICP 의 임피던스를 측정해볼 필요성이 생겼습니다만, 저희 연구실이 원래 이쪽을 하던 곳이 아니라서 딱히 물어볼 곳이 없었는 데 이렇게 질문을 할 수 있는 공간을 찾게 되어 다행이라고 생각합니다.


처음에는 단순하게 생각했습니다. 오실로스코프와 연결해서 쓰는, 흔한 voltage probe 와 current transformer 를 Impedance matcher 의 출력단 (가능하다면 ICP coil 에 직접 연결해서 측정을 하고 싶지만 ICP 가 비교적 뜨거울 것이고 강한 전자기파도 발생하고 있을 것이기 때문에 위험하지 않을 까 싶어 matcher 의 출력단을 측정 장소로 정했습니다) 에 물려서 voltage 와 current 의 파형을 얻고 voltage 와 current 의 amplitude 그리고 서로간의 phase 차이를 구하여 ICP 의 임피던스를 구하려고 했습니다 (물론 정확히 말하면, ICP coil + plasma 의 임피던스를 측정하는 것입니다). 그런데 제가 RF generator 회사의 엔지니어 분께 이런 방법이 가능한지에 대하여 문의를 드렸을때, 이런 방법으로 하면 voltage probe 의 capacitance 가 ICP 에 일부 영향도 주고 RF generator 에서 나오는 power 의 일부가 voltage probe 로 넘어가기 때문에 위험할 수 있다는 답변을 들었습니다. ICP 가 high voltage device 도 아니기 때문에 안전할 거라고 생각했는 데 제가 잘못 생각했는지 모르겠습니다. 그 분께서는 VI probe 라는 걸 이용하면 ICP 임피던스의 측정이 가능하다고 말씀하셨는 데, 이 부분에 대해서는 제가 공부가 좀 더 필요한 것 같습니다. 만일 이 장비가 비싸면 저희 연구실에서 사용하기 어려울 수도 있다는 생각도 듭니다.


ICP 의 임피던스를 측정하는 일반적인 방법들에는 어떤 것이 있는 지 알려주실 수 있으시겠는지요. 대략적이나마 알려주시면 그걸 바탕으로 공부를 할 수 있을 것 같습니다.


설 잘 보내시고 새해 복 많이 받으시기를 바랍니다.

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