Others ICP 후 변색 질문

2018.01.23 19:11

Wafer 조회 수:542

안녕하십니까.

현재 반도체 회사에서 근무하고 있습니다.

ICP 공정 중 일어나는 Sapphire wafer (Al2O3) 변색 관련 질문 드립니다.

BCl3 gas를 이용한  ICP 진행 중 간간히 wafer가 옅은 노란색을 띄는 황변이 발생하고 있고.

황변 발생 wafer는 재열처리로 황변을 제거 하고 있습니다. (가끔 황변이 제거 안되는 경우도 있습니다.)

이와 관련.  

1. Oxygen의 숫자 부족

2. Al3 + vacancy 과도의 이유로 추정하고 있습니다.

Ingot 자체의 물성(?)이 원인이라고 파악하고 있는데.

혹시, ICP 진행 중 어떠한 화학반응에 의해 황변이 발생할 가능성이 있는지요.

어떠한 내용이라도 좋습니다.

위 황변 내용과 관련하여 다른 의견이나 지식을 얻고 싶습니다.

ICP 진행 중 wafer 황변 발생의 원인과 그에 따른 해결 방안 혹은 점검 내용이 있다면 알려주시길 부탁드립니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2927
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14130
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50058
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62371
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80755
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 476
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 723
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 766
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 23560
396 MATCHER 발열 문제 [3] 1091
395 플라즈마 기초입니다 [1] 1045
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1259
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1155
392 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 999
391 PR wafer seasoning [1] 2356
390 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6421
389 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 484
388 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1421
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1169
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1845
385 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 776
» ICP 후 변색 질문 542
383 Plasma etcher particle 원인 [1] 1922
382 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1534
381 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 270

Boards


XE Login