번호 제목 조회 수
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 86
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48826
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 54221
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 62619
582 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. 26
581 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! 24
580 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. 16
579 RF 반사파와 이물과의 관계 24
578 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 60
577 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] 108
576 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 103
575 Load position 관련 질문 드립니다. [2] 84
574 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 131
573 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 117
572 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 2041
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 210
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 112
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 392
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 241
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 280
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 3408
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 200
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 878

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