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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
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ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
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580 |
플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다.
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RF 반사파와 이물과의 관계
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타겟 임피던스 값과 균일도 문제
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압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다.
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576 |
Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.
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575 |
Load position 관련 질문 드립니다.
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Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
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엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
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플라즈마 기술관련 문의 드립니다
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
[2] | 210 |
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Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
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568 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
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O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 3408 |
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연면거리에 대해 궁금합니다.
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 878 |
