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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58464
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628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 56
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 913
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [1] 500
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 172
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 136
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 142
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 135
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 172
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 475
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 255
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615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 132
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 196
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 271
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 155
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 297
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 205
609 전자 온도 구하기 [1] file 262
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