Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:910

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76718
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20171
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 823
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 3721
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 633
» Plasma Generator 관련해서요. [1] 910
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1454
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 446
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5926
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1183
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 516
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1065
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17510
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 468
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 842
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
414 etching에 관한 질문입니다. [1] 2259
413 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3443
412 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5676
411 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 5453
410 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 481
409 Si Wafer Broken [2] 2511

Boards


XE Login