안녕하세요.

RF 저온 플라즈마 발생장비를 사용하고 있는데, 수중 속에서 오존을 발생시키려면 어떠한 조건이 필요한지 궁금하여 질문드립니다.

해당 RF 저온 플라즈마 발생장비는 방전관 내부와 방전관 표면의 유리에서 방전이 일어나게 되고, 해당 Tip을 다시 표면이나

인체 피부에 접속 시, 유리방전관과 인체 피부 사이에서 방전현상이 일어나게 되어 방전관과 피부 사이를 지나는 공기 속의 산소가

전기적 에너지와 충돌하고, 결국 O2 에서 O+O로 분리되며, 분리된 O가 분리되지 않은 O2와 재결합하는 과정(O2 + O -> O3)에서

오존이 발생하게 되는 것으로 알고 있습니다.


궁금한 점은 해당 플라즈마 방전 Tip을 20ml 정도의 수중 속에 넣어서 전압을 인가 하였을 때, 표면에서 일어나는 플라즈마 에너지로

수중 내 이온들을 분리시켜 오존을 발생시킬 수 있는지 궁금합니다. (물은 D.W를 사용하였습니다).

오존은 기체다 보니 해당 장치로 플라즈마를 인가하면 수중 속 분자(H2O) 들이 이온화 되면서 재결합하는 과정에서

일부 오존들이 만들어지고, 기포가 조금이라도 발생할 줄 알았는데, 아무런 변화가 없었습니다.

혹시 수중 속 이온들을 이온화 시키기 위해 필요한 플라즈마 에너지가 부족한 것일까요?


자료들을 찾아보니, 과산화수소(H2O2), 에어버블을 이용해서 저온 플라즈마 장치를 수중 속에 넣게 되면 오존율을 높일 수 있다고

해서, 과산화수소(35%) 원액속에도 담궈봤는데 아무런 변화가 없었습니다. 그래서 해당 플라즈마 장치가 이온화를 시킬 수 있는

충분한 에너지 또는 조건성립이 부족했던건 아닌가 생각이 드는데, 혼자 고민하다가 여기 질문방을 찾게 되었고, 의견을 받고 싶어

글을 올리게 되었습니다.


바쁘시겠지만, 답변 부탁드리겠습니다. 혹시 설명이 부족하면 더 추가하도록 하겠습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2302
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12790
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49615
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61094
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78907
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2016
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 905
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 856
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1185
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2079
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 393
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 725
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1638
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 314
» 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 417
429 자기 거울에 관하여 952
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 640
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 2220
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 382
425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 688
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1153
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 326
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5502
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 867
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 388

Boards


XE Login