Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74885 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18736 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56224 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66686 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88011 |
714 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 142708 |
713 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134281 |
712 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 93886 |
711 | Plasma source type | 78043 |
710 | Silent Discharge | 64494 |
709 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 53572 |
708 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47049 |
707 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43293 |
706 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
![]() | 40700 |
705 | 대기압 플라즈마 | 40172 |
704 | RF frequency와 RF power 구분 | 38858 |
703 | Ground에 대하여 | 38481 |
702 | Self Bias | 36232 |
701 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35162 |
700 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34740 |
699 | PEALD관련 질문 [1] | 31869 |