Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
2018.12.30 00:14
안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [179] | 74881 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18735 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56223 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66684 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 87991 |
| 713 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 142707 |
| 712 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134281 |
| 711 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 93885 |
| 710 | Plasma source type | 78033 |
| 709 | Silent Discharge | 64494 |
| 708 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 53571 |
| 707 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47049 |
| 706 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43293 |
| 705 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
 | 40699 |
| 704 | 대기압 플라즈마 | 40172 |
| 703 | RF frequency와 RF power 구분 | 38855 |
| 702 | Ground에 대하여 | 38481 |
| 701 | Self Bias | 36232 |
| 700 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35162 |
| 699 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34738 |
| 698 | PEALD관련 질문 [1] | 31869 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.