Deposition PEALD관련 질문

2019.06.21 13:12

베컴 조회 수:20982

안녕하십니까?


현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...

PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.

PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

수고하십시오.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5591
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16865
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51345
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64200
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84175
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 1794
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1496
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4253
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 898
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 508
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5701
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1008
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 877
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 1939
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2475
481 교수님 질문이 있습니다. [1] 567
480 wafer bias [1] 824
479 Group Delay 문의드립니다. [1] 957
478 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 375
477 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1386
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 853
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1286
» PEALD관련 질문 [1] 20982
473 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1271
472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2247

Boards


XE Login