DC glow discharge 플라즈마 살균 방식

2020.06.19 16:13

박희원 조회 수:11448

안녕하세요! 플라즈마 살균에 대해 이번에 대학에서 과제로 발표를 해야하는 학생입니다. 플라즈마에 대해 계속 찾아보고 있는데, 이해가 안가는 부분이 너무 많아서 이렇게 질문을 드리게 되었습니다. 제가 검색한 바로는 플라즈마 살균(공기청정기)는 고전압플라즈마와 광플라즈마 방식이 있는데, 고전압플라즈마보다 광플라즈마에 맞춰 연구가 많이 되고 있다고 하고, 광플라즈마 특성은 저온에 대기압이고 화학적처리 방식, 오존처리방식, 물리적 처리방식 등이 있다. 

오존처리 방식이 자외선(UVU)를 사용하는 거라는데 맞나요??? 그리고 플라즈마 살균기 동작원리가 궁금합니다. 그냥 외부에 있는 공기를 빨아드려서 내부에서 수산화이온과 산소이온 등으로 분해한후 방출시켜 이온들이 외부에 있는 미세먼지와 바이러스를 제거하는 건가요? 또한 자외선은 어디에 쓰이는 건가요? 이온을 나눌때 사용이 되나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76728
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20190
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4486
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1120
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10378
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2453
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 889
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3749
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 2261
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1795
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3704
» 플라즈마 살균 방식 [2] 11448
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 1376
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2396
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 434
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1087
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3193
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6436
532 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1243
531 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2379
530 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1908

Boards


XE Login