번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48660
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56136
569 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 11
568 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. 433
567 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 50
566 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 82
565 플라즈마볼 제작시 [1] file 70
564 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 123
563 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 98
562 이게 플라즈마가 맞나요? [1] 716
561 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 159
560 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 158
559 알고싶습니다 [1] 118
558 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 150
557 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 84
556 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 89
555 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 679
554 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 567
553 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1002
552 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 107
551 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 208
550 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 237

Boards


XE Login