번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48775
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 52794
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 60674
576 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 14
575 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 16
574 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 82
573 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 100
572 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 65
571 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 300
570 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 154
569 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 209
568 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 3173
567 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 172
566 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 830
565 플라즈마볼 제작시 [1] file 218
564 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 741
563 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 221
562 이게 플라즈마가 맞나요? [1] 1517
561 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 1800
560 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 247
559 알고싶습니다 [1] 154
558 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 634
557 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 134

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