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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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576 |
Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
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575 |
엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다.
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574 |
플라즈마 기술관련 문의 드립니다
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573 |
ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다.
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572 |
Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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571 |
플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件
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570 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
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569 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
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568 |
ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다.
[1] | 3173 |
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567 |
연면거리에 대해 궁금합니다.
[1] | 172 |
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566 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 830 |
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565 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 218 |
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564 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
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563 |
Bais 인가 Cable 위치 관련 문의
[1] | 221 |
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562 |
이게 플라즈마가 맞나요?
[1] | 1517 |
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561 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
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560 |
좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
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알고싶습니다
[1] | 154 |
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
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557 |
Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
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