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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 12
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 30
781 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 82
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 39
779 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 118
778 Microwave & RF Plasma [1] 64
777 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 113
776 ICP에서 전자의 가속 [1] 104
775 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 35
774 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 135
773 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 50
772 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 75
771 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 129
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 93
769 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 55
768 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 190
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 100
766 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 70
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 154
764 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 304

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