안녕하세요.

 

Plasma 관련 공부를 처음 시작하게된 엔지니어입니다.

 

교수님의 설명을 통해 이곳에서 많은 공부를 하고 있는 도중 의문점이 있어 질문 드립니다.

 

Source Gas의 Uniformity를 관련하여 공부하고 있는데요

 

Plasma도 처음 시작하게 되었는데 기체의 유동도 많은 관련이 있어 공부를 시작하려 합니다.

 

진공 상태에서 Gas가 분출되어 나오고, showerhead를 통해 Process 공간으로 분사될 때 Gas의 Density를 대략적으로 계산할 수 있는 식이 있을까요??

 

예를들면 직경 10Φ의 원형에서 Gas가 분출되어 나오고 Showerhead와의 거리는 A, Showerhead 면적이 100mm x 50mm 일때 Showerhead를 통과하는 기체의 Density를 구할 수 있을까요??

 

정확하지 않더라도 간단하게 유추정도만 해볼 수 있는 식이 있다면 지도 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
643 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3362
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4739
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1893
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1088
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1249
638 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3949
637 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1320
» Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1141
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 705
632 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2278
631 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485
630 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 445
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1267
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1949
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8660
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3498
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14684
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1307

Boards


XE Login