안녕하세요. 플라즈마 장비 엔지니어입니다.

 

광학적 (OES) 플라즈마 진단을 공부하는 도중

 

PAL에서 학위를 받으신 박사님의 자료를 보게되었는데 질문사항이 생겨 글남기게 되었습니다.

 

Particle Balance Equation 이라고 해서 아래와 같은데요,

 

n1 = n0 - n1s2 - n1s3 - n1s4 - n1s5 - ne

 

n1 = Ground State Density

n0 = Total Gas Density

n1sx = Ar 4s

ne = Electron Density

 

1. 여기서 n1과 n0는 모두 이상기체방정식으로 구하는게 맞나요 ?? (n=P/kT)

 

2. 혹시 맞다면 방전이 Off일때 기체온도, On일때 기체온도의 차이로 인해 구분될 수 있는건가요 ?

   - Off일때 기체온도가 낮아서 n0 값이 큼

   - On일때 기체온도가 높아서 ng 값이 작음

 

항상 좋은정보 감사드립니다~~

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5573
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16855
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64188
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84157
691 플라즈마 진단 OES 관련 질문 3
690 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 21
689 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 32
688 ESC DC 전극 Damping 저항 59
687 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 102
686 RF Sputtering Target Issue [1] file 105
685 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 109
684 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 114
683 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 116
682 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 121
681 Polymer Temp Etch [1] 140
680 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 143
679 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 148
678 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 150
677 plasma striation 관련 문의 [1] file 164
676 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 165
675 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 180
674 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 184
673 RPSC를 이용한 SiO, SiN Etch 관련 문의드립니다. [1] 188
672 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 202

Boards


XE Login