Others 반도체 관련 플라즈마 실험
2022.08.08 11:39
고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73027 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17616 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55516 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65696 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86027 |
686 | ESC DC 전극 Damping 저항 | 246 |
685 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 438 |
684 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 312 |
683 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 349 |
682 |
RF Sputtering Target Issue
[2] ![]() | 282 |
681 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 272 |
680 | PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] | 1017 |
679 |
plasma striation 관련 문의
[1] ![]() | 263 |
678 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 325 |
677 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 315 |
676 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] ![]() | 262 |
675 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] ![]() | 298 |
674 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 444 |
673 | Plasma Arching [1] | 535 |
672 | Polymer Temp Etch [1] | 291 |
671 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] ![]() | 542 |
670 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 207 |
669 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 845 |
» | 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] | 432 |
667 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 270 |
과학관에서 아이디어를 얻는 것이 좋을 것 같습니다. 특히 플라즈마 관련 실험은 안전 문제를 반드시 고려해야 합니다. 실험 계획서에 이 부분에 대한 고려를 포함하는 것이 좋겠네요.