Etch Dry Etcher 에 대한 교재
2009.08.07 17:14
저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는 ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20182 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68698 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
| 182 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 58 |
| 181 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 62 |
| 180 | sputtering 을 이용한 film depostion [1] | 111 |
| 179 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 169 |
| 178 | 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] | 178 |
| 177 |
화장품 원료의 플라즈마 처리 문의
[1]  | 185 |
| 176 | AP plasma 공정 관련 문의 [1] | 198 |
| 175 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 206 |
| 174 | GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] | 216 |
| 173 | Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] | 228 |
| 172 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 232 |
| 171 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 250 |
| 170 | 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] | 273 |
| 169 | RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] | 290 |
| 168 | RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] | 315 |
| 167 | RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] | 354 |
| 166 | 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] | 366 |
| 165 | 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] | 386 |
| 164 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 | 394 |
| 163 | PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] | 398 |