안녕하세요

접착력 증가를 위한 플라즈마 처리를 하고 있습니다.

문제는 불소계필러가 들어간 이미드 필름을 에폭시에 붙이려하는데 잘되지 않아서 

표면처리 후 접착력을 증가시켜 보려고합니다.

현재 Ar+H2 로 하고있고 접착력이 증가하긴 하지만 탁월한효과는 못보고있습니다.

혼합가스를 바꾸어보라는 말도있고 소스를 바꿔보라는 말도있던데 

혼합가스 종류나 다른 방법이있을까요 ? 


궁금합니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2361
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12954
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49619
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61116
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79628
143 etch defect 관련 질문드립니다 90
142 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 179
141 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 182
140 doping type에 따른 ER 차이 [1] 165
139 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 157
138 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 241
137 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 453
136 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3293
135 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 401
134 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 277
133 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 356
132 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 689
131 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 917
130 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 288
129 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 222
128 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 372
127 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 595
126 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 353
» 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 339
124 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 510

Boards


XE Login