Etch etch defect 관련 질문드립니다

2022.04.28 18:19

르후앤 조회 수:488

1. etch 공정이 완료된 이후 가장자리에 다량의 defect가 발견되었는데 이때 원인을 분석하기 위한 방법이 무엇이 있을까요?

 

2. 또 1번의 defect를 줄이기 위한 방법이 무엇이 있을까요?

 

저 나름대로 공부를 해봤는데 다른분들 의견이 궁금해서 질문드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5591
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16866
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51345
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64200
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84176
152 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 43
151 RF Sputtering Target Issue [1] file 112
150 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 116
149 Polymer Temp Etch [1] 146
148 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 149
147 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 151
146 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 289
145 doping type에 따른 ER 차이 [1] 321
144 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 357
143 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 362
142 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 401
141 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 428
140 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 462
139 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 465
138 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 472
137 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 472
136 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 481
» etch defect 관련 질문드립니다 [1] 488
134 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 506
133 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 508

Boards


XE Login