Sputtering 몇가지 질문있습니다
2009.11.10 20:51
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76685 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68680 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92216 |
| 23 | sputtering 을 이용한 film depostion [1] | 102 |
| 22 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 54 |
| 21 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 245 |
| 20 |
RF Sputtering Target Issue
[2]  | 592 |
| 19 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1381 |
| 18 | sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] | 2311 |
| 17 | Ar plasma power/time [1] | 1435 |
| 16 | DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] | 3794 |
| 15 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10295 |
| 14 | Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] | 15801 |
| 13 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 29258 |
| 12 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20203 |
| 11 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20900 |
| » | 몇가지 질문있습니다 | 16578 |
| 9 | 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. | 24870 |
| 8 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19710 |
| 7 | sputter | 16844 |
| 6 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18032 |
| 5 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 | 17773 |
| 4 | sputtering | 18288 |