안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76872
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
797 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 38
796 Druyvesteyn Distribution 13
795 플라즈마 식각 커스핑 식각량 26
794 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 58
793 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 9
792 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 21
791 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 63
790 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 74
789 플라즈마 설비에 대한 질문 68
788 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 90
787 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 220
786 skin depth에 대한 이해 [1] 169
785 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 119
784 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 116
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 185
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 149
781 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 139
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
779 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 267
778 Microwave & RF Plasma [1] 137

Boards


XE Login