Plasma Source RF generator 관련 문의드립니다

2020.04.11 09:43

미누85 조회 수:1910

안녕하세요

천안에 재직중인 김민우라고 합니다

현업에 사용하는 스퍼터 장비 RF generator관련 문의사항이 있어 질문드립니다

현상은

RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰때도 있고

매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

변경사항으로는

RF generator가 죽어서 동일한 모델에다가 죽은 generator 내부컨트롤 보드만 스왑해서 

다시 장착해서 사용중입니다

궁금한점은

원인을 계속 찾고 있는 중에

저항 체크 시 챔버쉴드랑 rf 사이에는 무한대

동축케이블 심과 쉴드 사이는 무한대 가 다뜨는데

rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

저항이 0.3옴이 뜹니다? 이부분이 궁금해서요..

저항이 무한대로 나와야 되는건가요?



이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76692
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68681
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
787 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 139
786 skin depth에 대한 이해 [1] 105
785 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 65
784 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 70
783 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 97
782 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 88
781 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 102
780 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 54
779 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 190
778 Microwave & RF Plasma [1] 105
777 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 166
776 ICP에서 전자의 가속 [1] 126
775 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 50
774 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 194
773 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 61
772 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 97
771 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 150
770 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 140
769 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 67
768 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 224
쓰기
태그

Boards

XE Login