Plasma Source 플라즈마 챔버

2021.03.18 20:01

도나츠바 조회 수:1242

안녕하십니까. 반도체 업체에 근무하고 있는 회사원입니다.

다름이 아니라 플라즈마에 챔버에 대해 질문이 있어 이렇게 글을 올립니다.

플라즈마 챔버 설계를 진행하려 합니다.

혹시....... Gas를 NF3를 사용하게 되면 스테인리스 챔버로 제작를 진행해도 괜찮을까요?

아니면 알루미늄 챔버로 제작을 해야 하나요?

위 두가지 챔버 제작의 경우 사용 불가한 이유가 있으면 알고 싶습니다.

너무 궁긍하여 글을 올립니다.

답변 부탁드립니다.

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