Etch 플라즈마 식각 커스핑 식각량

2024.05.08 14:01

ejd 조회 수:72

안녕하세요 플라즈마 관련 실험을 진행하고 있습니다. 

진행 시 샘플 트렌치에 커스핑 현상을 볼 수 있었습니다. 

커스핑이 발생하였을 때 트랜치의 식각량을 어떤 기준으로 봐야할까요?

식각이 더 많이 된 코너쪽 부분 또는 식각이 적게 된 가운데 부분 중 어떤 기준으로 식각량을 비교해야할까요?

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