안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77718
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20710
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57637
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69135
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93386
30 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] 56
29 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 479
28 핵융합 질문 [1] 587
27 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 594
26 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 704
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 790
24 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 806
23 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 856
22 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 952
21 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1249
20 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1301
19 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1437
18 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1559
17 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1822
16 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1920
15 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2364
14 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2767
13 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3358
12 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3495
11 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4740

Boards


XE Login