안녕하십니까, 교수님
저는 국내 디스플레이 장비 업체에서 근무 중인 직장인 김준현이라고 합니다.
항상 좋은 답변 해주셔서 업무 진행에 있어 많은 도움을 받고 있습니다.

 

최근 arcing 관련 내용을 공부 중에 있는데요, 궁금한 점이 생겨 이렇게 문의드리게 되었습니다.

 

질문들은 하기와 같습니다. 

 

1. arcing 발생 방지에 있어, ground가 중요한 이유가 무엇인가요...?

 

2. 벽표면 혹은 전극 표면 등에 쌓인 부도체 물질, particle 등이 acring 발생에 어떤 영향을 주는지 그 메카니즘에 관해 알고 싶습니다.    

 

3. 특정 조건에서 기판 지지체 하부에 잔류 플라즈마 발생을 확인할 수 있었는데요, 기판지지체 하부에는 RF Power가 직접적으로 가해지지 않는데 왜 플라즈마가 유지/생성될 수 있는지 궁금합니다. 

 

이상입니다.

 

감사합니다.
 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82768
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21988
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58768
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70400
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96354
31 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [표면파의 전파] [1] 120
30 liquid plasma 공부 방향에 대해서 알고싶습니다. [1] 128
29 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 511
28 핵융합 질문 [NFRI 국가핵융합 연구소] [1] 663
27 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [열플라즈마와 "플라즈마 금속학"] [1] 668
26 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 783
25 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다. [Corona breakdown, current density] [1] 864
24 새집 증후군 없애는 플러스미- 플라즈마에 대해서 [광운대 플라즈마바이오연구센터] [1] 869
23 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [글로우 방전 및 아크 방전] [1] 933
22 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [Breakdown condition 및 Paschen's law] [1] 1024
21 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1370
20 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1380
» Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1603
18 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 1716
17 ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition] [1] 1909
16 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 2003
15 ECR 플라즈마에 대해서 질문드립니다. [ECR과 uniformity] [1] 2541
14 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [MFC와 H2 gas retention] [3] 2932
13 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [소수/친수성 조절 연구] [1] 3422
12 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [Arc와 cleaning] [1] 3668

Boards


XE Login